半导体传感器每个水分子都具有其自然振动频率，当它进入半导体晶格的空隙时，就和受到充电激励的晶格产生共振，露点仪，其共振频率与水的摩尔数成正比。水分子的共振能使半导体结放出自由电子，维萨拉露点仪，从而使晶格的导电率增大，阻抗减小。利用这一特性设计的半导体露-点仪可测到-100℃露-点的微量水份。

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芬兰维萨拉公司（vaisala）的露点仪由于使用drycap?湿度传感器及零点自动校准、增益回归三项专利技术，手持式露点仪，使得在低湿或/及存在腐蚀性化学物质气体分子的情况下准确测量相对湿度，露点仪报价，从而计算出相应的露点成为现实，在测量高于-60℃的露点时其精度保证在±2℃以内，精度稍低时，可达到-80℃露点。

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